蘭迪鋼化爐近日了解到肖特（SCHOTT）將在日本市場推出光敏玻璃“FOTURAN II”，該產品可在紫外線照射下結晶化，可用做半導體及生物技術領域的玻璃基板。
在紫外線照射下，玻璃本身會發(fā)生變質，再經過熱處理就會結晶化（陶瓷化），成為光敏玻璃。無需使用光刻膠，只用氫氟酸即可僅蝕刻結晶化的部分。肖特的產品的特點是，玻璃部與陶瓷部的刻蝕選擇比高達30比1，容易加工。
使用光刻膠蝕刻普通玻璃時，蝕刻會向各向同性發(fā)展，因此很難實現(xiàn)高深寬比加工。而感光性玻璃是選擇性蝕刻結晶化的部分，從原理上來說沒有深寬比限制，因此能夠實現(xiàn)20～30μm的微細圖案加工。
